国产DUV光刻机主力型号

鑫睿炜半导体科技(苏州)有限公司

2026-04-01 16:01:13

鑫睿炜半导体科技(苏州)有限公司

法人:夏炜炜通过真实性核验

鑫睿炜半导体科技（苏州）有限公司，2019年成立于江苏省苏州市昆山市，主营净气型通风柜、高氯酸通风柜等，专业权威，经验丰富。

介绍：

本文揭秘国内使用最广泛的DUV光刻机型号，重点解析ASML主力设备的市场现状与技术特点，同时探讨国产替代进展，为读者呈现光刻机领域的真实图景。

一、国内DUV光刻机市场格局

目前国内晶圆厂使用较多的DUV光刻机主要来自ASML，其中TWINSCAN NXT:1980Di型号占据较大份额。这款采用193nm波长的设备，在7nm至45nm制程区间展现良好平衡性，每小时处理约275片晶圆。其双工件台设计显著提升生产效率，成为多数成熟制程产线的选择。

NXT:1980Di的核心优势体现在三个方面：

该机型特别适合量产14nm及以上制程的电源管理芯片、传感器等产品，是国内引进数量较多的进口设备。

上海微电子等企业已推出SSA600系列DUV光刻机，可支持90nm制程。虽然与进口设备存在代差，但在后道封装、特色工艺等领域逐步实现应用。国产设备正在光学系统、对准技术等关键环节持续创新，未来有望在成熟制程形成补充。

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