扩散泵漏气怎么查

一、目视检查：最直接的初步诊断

扩散泵漏气时，肉眼观察是最快捷的筛查方式。重点检查泵体焊缝、法兰连接处和密封圈区域，若发现油渍积聚或灰尘异常吸附，可能是漏气的明显迹象。同时运行时可倾听是否有高频气流声，但需注意安全防护。

二、氦质谱检漏：精准定位微小泄漏

对于隐蔽性漏气，氦质谱仪是理想工具。先将泵体抽真空，再用氦气喷枪扫描可疑部位，仪器会实时显示泄漏率。此方法能检出小至1×10⁻⁹Pa·m³/s的漏量，特别适合金属密封件和陶瓷接头的检测。

三、压力测试：系统性验证密封性能

通过分段加压测试可锁定漏气区间：

1. 隔离扩散泵与系统其他部件
2. 向泵体充入干燥氮气至工作压力
3. 用肥皂水涂抹各接口观察气泡形成
4. 保压24小时记录压力降，超过5%即需检修

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