数字干涉仪与传统干涉仪的核心差异在于信号处理方式:前者通过数字化技术提升测量精度和效率,而后者依赖光学机械结构。当需要快速、高精度测量时,数字干涉仪往往是更优选择。
一、数字信号处理如何改变干涉仪的测量逻辑
数字干涉仪与传统干涉仪的核心差异在于信号处理方式。传统干涉仪依赖光学元件和机械调整直接生成干涉条纹,需人工判读或胶片记录,而数字干涉仪通过CCD或CMOS传感器将光信号转换为数字信号,由算法实时分析相位信息。
这种差异带来两个关键优势:
- 测量精度不再受限于人眼分辨力或胶片颗粒度,算法可识别亚纳米级相位变化
- 无需反复调整参考光路,自动化处理大幅缩短从测量到输出的时间




