概述
R14制冷剂，化学名四氟甲烷，是早期使用的氟利昂类制冷剂之一。虽然其臭氧消耗潜能值为0，不会破坏臭氧层，但由于极高的全球变暖潜能值（GWP），已被《蒙特利尔议定书》列入逐步淘汰物质清单。 在实际应用中，R14因其极低的沸点（-128°C）曾用于超低温制冷系统。但随着环保法规趋严，现在主要应用于半导体制造中的等离子蚀刻工艺，作为蚀刻气体使用。
物理化学性质
R14是一种无色、无味、不可燃的气体，化学性质极其稳定。它的稳定性使其在大气中的寿命长达5万年，这也是其高GWP值的原因。 从热力学角度看，R14的临界温度为-45.5°C，临界压力为37.4 bar。这些特性决定了它适合用于极低温制冷系统，但在常规制冷温度范围内效率不高。
主要用途
历史上，R14主要用于需要极低温的专用制冷系统，如科学研究和特殊工业应用。由于其沸点极低，常与其他制冷剂混合使用以调节工作温度范围。 如今，R14最大的应用领域是半导体制造业，作为等离子蚀刻工艺中的蚀刻气体。在微电子器件制造中，它用于硅、二氧化硅等材料的蚀刻，能产生高度各向异性的蚀刻轮廓。
安全与储存
R14本身毒性很低，但高浓度时有窒息风险。工作场所应安装氧气监测仪，确保氧气浓度不低于19.5%。储存时应使用专用高压钢瓶，避免阳光直射和高温环境。 虽然R14不可燃，但在高温下可能分解产生有毒的氟化氢。因此，使用时应远离明火和高温表面。泄漏处理需佩戴自给式呼吸器，小泄漏可自然通风，大泄漏需专业处理。
B2B采购指南
由于环保限制，R14的生产和使用受到严格管制。采购时需确认供应商具有合法的生产和销售资质，并提供完整的安全数据表（MSDS）。 目前市场上R14价格较高，约300-500元/公斤，且供应量有限。建议考虑环保替代品，如R23等。采购时应明确纯度要求，电子级产品纯度通常要求≥99.99%。
常见问题
R14为什么被淘汰？
虽然R14不破坏臭氧层，但其全球变暖潜能值（GWP）高达7390，是二氧化碳的7390倍，因此被《蒙特利尔议定书》列入淘汰名单。
R14可以用什么替代？
在制冷应用中，R23是常见的替代品；在半导体应用中，可考虑使用C4F8等替代气体，具体需根据工艺要求选择。
R14对人体有害吗？
R14本身毒性很低，但高浓度时会置换氧气导致窒息。分解产物氟化氢有强烈腐蚀性和毒性，需特别注意防护。
相关厂家
- 主营：制冷剂、冷冻油、氟化液
- 主营：R1270制冷剂、R600a制冷剂、丙烷、异丁烷
- 主营：压缩机、solest220、喷射剂、制冷剂、氟化碳r14、solest120、清洗剂、发泡剂、冷冻油、solest170、kleatp5r3、气体c4f8、乙烷r170、3匹小脚、jt170fbkye、10匹直流、jt1fdvdktyr、jt1fbvdktyr、交流变频、te708sc3q9rk、pp23bz101005、直流变频、比泽尔冷、三氟丙烯、六氟丙烷
- 主营：报警仪、气体检测仪、COD测定仪、制冷剂检测仪、总氮测定仪、甲烷检测仪、氧气检测仪、氨气检测仪、二氧化硫检测仪、磷化氢检测仪、硅烷检测仪、联氨检测仪、肼检测仪、三氟化氮检测仪、溴气检测仪、乙烯检测仪、PID检测仪、VOCs检测仪、过氧化氢检测仪、四氢噻吩检测仪、一氧化碳检测仪、六氟化氢检测仪、甲醛检测仪、硫化氢检测仪、砷化氢检测仪
- 主营：气体测试仪、气体探头、非甲烷总烃测定仪、制冷剂变送器、气体监测仪、苯系物检测仪、光气检漏仪、六氟化硫检漏仪、HCN检漏仪、磷化氢检测仪、砷化氢检漏仪、有毒气体检测仪、多参数气体测定仪、四合一气体测定仪、甲醛测定仪、NH3检测仪、水中硝酸盐测定仪、总氮分析仪、多参数水质分析仪
- 主营：便携式气体检测仪、气体探测仪、气体报警器、制冷剂、可燃气体探头、测氧仪、有毒有害气体检测仪、臭氧检测仪、CO2检测仪、氮氧化物检测仪、二氧化硫检测仪、复合式气体检测仪、COD测定仪、PH计、溶解氧仪、电导率仪、浊度计、色度仪、氨氮测定仪、二氧化碳检测仪、可燃气体报警器、气体侦测仪、泵吸式气体检测仪、手持式气体检测仪、溴甲烷检测仪、六氟化硫检测仪
- 主营：小苏打、碳酸氢钠、氯化钙、冷冻制冷剂用、元明粉、焦亚硫酸钠、氯化镁、纯碱、超细小苏打
- 主营：合成树脂、固化剂、不饱和树脂、制冷剂用、环氧树脂、聚酯多元醇、酚醛树脂、医药中间体
- 主营：粒子计数器、NMP气体报警器、粉尘浓度仪、制冷剂泄露传感器、复合火灾监测报警器、粉尘传感器、尘埃粒子计数器、电池热失控监测传感器、手机无线充风扇、甲烷传感器、冷媒传感器、空气质量检测仪、燃气表、激光氨气变送器、红外二氧化碳变送器、二氧化碳传感器、汽车空气质量传感器、超声波氧气传感器
- 主营：防冻液、食用酒精、141B发泡剂、制冷剂、洗网水、LG异丙醇、二氯甲烷、除胶剂、洗枪水、二乙醇胺、甘油、脱膝剂、丙三醇、三乙醇胺、二甲基乙酰胺、增塑剂DOP、聚氨酯发泡剂、工业酒精、化白水、PMA、丙二醇、白油、清洗剂、二甲苯、无水乙醇、去渍油
- 主营：制冷剂、溴化锂
- 主营：制冷阀件、发泡剂、转子压缩机、制冷剂、霍尼韦尔制冷剂、大金制冷剂、巨化制冷剂、制冷剂厂家、R455A制冷剂、R513A制冷剂、环保制冷剂、R1234ze制冷剂、R452A制冷剂、R22制冷剂、R410A制冷剂、R1233zd制冷剂、r454b制冷剂、涡旋压缩机、CPS工具、冷媒、氟利昂、压缩机、液体发泡剂
- 主营：冷库机组、制氮机、螺杆空压机、制冷剂、活性氧化铝、分子筛、氮分仪、冷干机、微热吸干机、油分滤芯、无热吸干机、不锈钢烧结滤芯、冷库设备、制冷压缩机维修、空压机进气阀、制冷压缩机、碳分子筛、冷风机、空调维修
- 主营：冷凝机组、空调热泵冷媒、中高温冷却系统、制冷剂、空调制冷剂、霍尼韦尔制冷剂、冷水机制冷剂、R449A制冷剂、R454B制冷剂、R410A制冷剂、r507a制冷剂、R513A制冷剂、制冷剂R245fa、巨化制冷剂、汽车空调制冷剂、R1234YF制冷剂、巨化R-22制冷剂、R452A制冷剂、R1233zd制冷剂、R455A制冷剂、海立压缩机、R22空调压缩机、转子压缩机、热力膨胀阀、冷媒压缩机
- 主营：杀菌灭藻剂、污水处理药剂、缓蚀阻垢剂、制冷剂、乙二醇防冻液、防冻剂、无磷缓释剂、反渗透ro膜阻垢剂、清洗剂、锅炉除垢剂、多功能防冻液、臭味剂、防冻液冷却液、管道防冻剂、工业防冻液、乙二醇防冻剂、空调防冻液、循环水缓蚀阻垢剂、水处理专用药剂、工业循环水系统处理药、循环水处理药剂、消泡剂、不锈钢清洗剂、反渗透清洗剂、固态液态防冻剂、大蒜臭味变色剂
- 主营：冷媒、制冷阀件、压缩机、制冷剂、霍尼韦尔制冷剂、大金制冷剂、巨化制冷剂、制冷剂厂家、R515B制冷剂、r134a制冷剂、R454B制冷剂、R454C制冷剂、R1234yf制冷剂、R452A制冷剂、R513A制冷剂、R455A制冷剂、涡旋压缩机、转子压缩机、发泡剂、CPS工具、氟利昂、霍尼韦尔发泡剂、聚氨酯发泡剂、液体发泡剂、LBA发泡剂
- 主营：灾区电话、矿用救护、煤矿用钻机、避难硐室制冷剂、旧枕木、氧气呼吸器、氧气充填泵、井下自动隔爆装置 ZGJFH35型、ZDY1200S全液压坑道钻机、泥浆泵、注浆泵、快速密闭罐、矿用风机、CCZ-1000粉尘检测仪、氢氧化钙(二氧化碳吸收剂)、一氧化碳吸收剂、干燥剂、CD5多参数气体检测仪、空气呼吸器、气幕喷淋装置、矿用门、避难硐室门、矿用密闭门、防火门、车载甲烷断电仪
- 主营：异丙醇、冰醋酸、化工原料、工业级制冷剂、正庚烷、甲基环己烷、乙二醇、苯酚、江苏异丙醇、江苏化工原料、工业吡啶、工业苯酚、正丁醇、MIBK、无水乙醇、正己烷
- 主营：散热板、清洗剂、五氟丁烷、制冷剂、电子氟化液
- 主营：溶剂油、清洗剂、异佛尔酮、乙二醇制冷剂、副产甲缩醛、天然气甲醇、乙二醇单丁醚、无色透明液体、甲醇、异丙醇、醋酸丁酯、二甲苯