概述
涡旋干式泵是1980年代发展起来的新型无油真空泵，采用两个相互啮合但不接触的涡旋盘实现气体压缩。在半导体晶圆制造车间，这类泵因其零污染特性已成为标配设备。 与传统油封旋片泵相比，它彻底消除了油蒸气反流污染风险，特别适合对洁净度要求极高的应用场景。其结构简单、运动部件少的特点也带来了更长的使用寿命和更低的维护成本。
结构与原理
核心部件是一对相位差180°的渐开线涡旋盘，一个固定一个作轨道运动。气体从外缘吸入，在逐渐缩小的腔室中被压缩，最终从中心排气口排出。 这种设计无需润滑油密封，完全依靠精密加工保证0.1mm级间隙密封。动盘由偏心轴驱动，采用特殊轴承支撑以减少振动。先进型号采用磁力耦合传动，进一步杜绝泄漏可能。
主要特点
极限真空度可达10-2Pa（约0.1mbar），单级抽速范围1-500m³/h。由于无油运行，不会产生油雾污染，特别适合半导体ALD、PVD等工艺。 振动和噪音极低，通常<65dB(A)，是实验室环境的理想选择。能耗比油泵低30-50%，且几乎免维护，只需定期更换进气过滤器。但处理粉尘或腐蚀性气体时需要前置过滤装置。
应用领域
半导体行业占比超60%，用于晶圆刻蚀、镀膜等制程。在7nm以下先进制程中，干式泵已成为不可替代的基础设备。 光伏行业用于薄膜太阳能电池生产，医疗领域用于MRI质谱仪等精密仪器。近年来在锂电隔膜生产、OLED蒸镀等新兴领域也快速普及。
维护与注意事项
每2000小时应检查涡旋盘磨损情况，标准间隙增大超过0.3mm需更换。进气口必须安装0.3μm级过滤器，防止颗粒物进入造成划伤。 抽吸腐蚀性气体时建议选用不锈钢或特殊涂层型号。突然停电可能导致涡盘碰撞，重要场合应配备UPS电源。日常监测泵体温度异常升高是故障前兆。
B2B采购指南
关键参数包括：极限真空度（优选≤5×10-2Pa）、抽速（按工艺气体量×1.2倍选择）、材质（腐蚀环境选316L不锈钢）、噪音（洁净室用需<60dB）。 国际品牌如Edwards、Leybold性能稳定但价格较高（10-50万元），国产如中科科仪、川真空性价比更优（5-15万元）。采购时应要求提供He检漏报告和振动测试数据。
常见问题
涡旋泵能取代分子泵吗？
不能完全取代。分子泵可达10-7Pa超高真空，但二者常组成复合泵组，涡旋泵作为前级泵使用。
如何处理含粉尘气体？
为何启动时有时会异响？
通常是涡盘间隙不均导致，建议缓慢升频启动。持续异响需立即停机检查轴承或涡盘对中性。
寿命一般多长？
正常使用5-8年，主要取决于气体清洁度和维护情况。涡旋盘是核心损耗件，更换成本约整泵30%。
可以抽易燃气体吗？
特殊防爆型号可以，但需确保泵体温度不超过气体燃点，并配备气体浓度监测系统。
相关厂家
- 主营：真空泵、真空泵维修、爱德华真空泵、莱宝真空泵、普旭真空泵、爱发科真空泵、真空泵油、干式螺杆真空泵、油式双级旋片泵、干式涡旋真空泵、里其乐真空泵、贝克真空泵、荏原真空泵
- 主营：手套箱、科晶封口机、电子天平、爱德华真空泵、真空泵RV12、真空泵RV8、nXDS10i干泵、无油真空泵、Edwards真空泵、莱宝真空泵、普发真空泵、鲍斯真空泵、飞越真空泵、北仪优成真空泵、净化材料
- 主营：安捷伦、检漏仪、无油机组、泵机组、真空泵、维修配件、泵撬装机组、发电机组、罗茨机组、缸套密封垫、油雾分离器、换热器密封垫
- 主营：Stellite、钴铬钼合金、司太立合金
- 主营：渣浆泵、砂砾泵、泡沫泵、脱硫泵
- 主营：渣浆泵、脱硫泵、挖泥泵
- 主营：喷淋嘴、水喷枪、涂覆机、铸配件、铁铸件、精铸件、汽车零件、煤粉炉、大拇指、硅溶胶、喷雾脱、煤气降、喷雾均、防堵除尘、无气喷枪、处理喷枪、雾化系统、脱硝喷嘴、蒸发冷却、雾化喷枪、除尘喷枪、喷雾喷头、锅炉烟气、降温喷枪、脱硫喷枪
- 主营：POM 500P、POM 100P、POM F20-03、POM M90-44、POE 6102FL、POE 3980FL、POE 8200、POE 8100、ABS 757、ABS 121H、PC 1100、POM 4520、POM 3010、POM云天化M90、PA66 A3EG6、TPU 1180A、ABS AG15E1、ABS 777E、PA6 1013B、PA66 A3EG3、POE 8150、EVA 7350M
- 主营：机床床、铸铁磨具、机床立柱、铸铸件、铸件球、矿山配件、翻砂铁件、灰铁铸件、铸铁配件、实体铸件、机床铸件、铸件数控、球墨铸铁、异形铸铁、阀体阀盖、精密铸造、球磨铸铁、铸造铸铁、机床铸造、球墨铸造、承接铸铁、翻砂铸造、机床箱体、灰口铸铁、机床灰铁
- 主营：潜水泵、深井泵、浮筒泵、卧式潜水泵、潜水轴流泵、矿用潜水泵、污水泵、潜油电泵、热水泵、双吸泵、永磁泵、防汛泵车、管中泵、管道离心泵、漂浮泵、下吸式潜水泵、中吸泵、化工泵、立式潜水混流泵、矿井深井泵、农用清水泵、轴流潜水泵、潜水混流泵、流潜水电泵、井用不锈钢潜水泵
- 主营：POM美国杜邦、PA66、TPU科思创、泵件用料、TPU巴斯夫、PC-1100、PBT、pom100p、pom500p、Pom900p、M90-44、F20-03、日本旭化成pom、日本宝理、沙伯基础、德国巴斯夫、PEEK、PVDF、PCTG、PARA、PPA、PPSU、PMMA、PPS8670A64、PA9T、Pa612
- 主营：减压阀、铸铁粉、铝合金、自吸泵、污水泵、油桶泵、管道泵、隔膜泵、计量泵、输送泵、增压泵、抽液泵、漩涡泵、离心泵、化工泵、螺杆泵、排污泵、潜水泵、混合泵、插桶泵、循环泵、截止阀、柱塞阀、充气阀、过滤器
- 主营：WilChy、IWAKI易威奇、NIKKISO日机装、米顿罗计量泵、米顿罗泵、LMI加药泵、普罗名特计量泵、Prominent泵、OBL计量泵、Milton Roy泵、SEKO计量泵、SEKO隔膜泵、帕斯菲达计量泵、计量泵、英格索兰气动泵、PP泵头、隔膜加药泵、加碱泵、FUJI富士泵、电动泵、小型计量泵、软管计量泵、进口计量泵、溶解氧仪表、不锈钢脉冲阻尼器
- 主营：耦合装置、网坠、树脂砂铸造、消失模铸件、铸钢件、灰铁件、球墨铸铁件、铸铜件、铸铝件、球墨铸件、大型不锈钢铸件、灰铁铸件、护栏支架、支柱、消失模铸造、消失模
- 主营：聚烯烃、机械仪器、工业壳体、升级透明聚丙烯
- 主营：空压机冷干机及配件、空压机配件、螺杆空压机配件、空压机维护保养配件、空压机维修配件、离心机配件、螺杆空压机保养配件、螺杆空压机、冷干机吸附式干燥机
- 主营：POM、PPS、PA、PP、PMMA、PE、PET、PC、ABS、PC/ABS、PBT、LCP、PPA、TPU、PA66、塑胶原料、PEEK
- 主营：PPS塑料、LCP塑料、POM塑料、PC塑料、PCTG塑料