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้้้ถๆๆฏ็ฉ็ๆฐ็ธๆฒ็งฏ(PVD)ๅทฅ่บไธญ็ๅ ณ้ฎๆๆ๏ผไธป่ฆ็ฑ้ซ็บฏๅบฆ้ๅ้ๆ็นๅฎๆฏไพๅ้ๅๅถๆใๅจๅๅฏผไฝ่กไธๅทฅไฝๅคๅนด็ๅทฅ็จๅธ้ฝ็ฅ้๏ผ้ถๆ็็บฏๅบฆ็ดๆฅๅฝฑๅๆ็ป่่็ๆง่ฝๅ่ดจ้ใ ่ฟ็ฑป้ถๆ้ๅธธ้็จ็็ฉบ็็ผๅ็ญ็ญ้ๅๅทฅ่บๅถๅค๏ผ่ฆๆฑๆ่ดจๅซ้ๆไฝ๏ผๅ ้จๆ ๆฐๅญๅๅคนๆใๅจๆบ ๅฐ่ฟ็จไธญ๏ผ้ซ่ฝ็ฆปๅญ่ฝฐๅป้ถๆ่กจ้ข๏ผไฝฟ้้ๅๅญ่ขซๆบ ๅฐๅบๆฅๅนถๅจๅบๆฟไธๆฒ็งฏๆ่ใๅฝไปไธปๆตๅฐบๅฏธไธบ็ดๅพ2-8่ฑๅฏธ๏ผๅๅบฆ3-10mmใ
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้้้ถๆ็ๅฏๅบฆๆฅ่ฟ็่ฎบๅฏๅบฆ(โฅ98%)ๆฏๅ ณ้ฎๆๆ ๏ผๅฏๅบฆไธ่ถณไผๅฏผ่ดๆบ ๅฐๆถไบง็้ข็ฒๅ็ตๅผงใไผ่ดจ้ถๆ็ๆถ็ฒๅฐบๅฏธ้ๅธธๆงๅถๅจ50ฮผmไปฅไธ๏ผๆถ็ฒๅๅๆง็ดๆฅๅฝฑๅ่่็ๅๅๆงใ ๅ ถ็ญๅฏผ็็บฆ401 W/(mยทK)๏ผ็ต้ป็็บฆ1.7ร10โปโธ ฮฉยทmใ้้ๅ้็ธๆฏ็บฏ้้ถๆๅ ทๆๆดๅฅฝ็่้ซๆธฉๆง่ฝๅ่ๅฑ้็ๅ๏ผ่ฟๆฏๅ ไธบ้ๅ ็ด ่ฝๅฝขๆ็จณๅฎ็ๆฐงๅ็ฉ็้ขๅฑใ
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้้้ถๆๆฌ่บซไธๆ็๏ผไฝๅ ๅทฅไบง็็้ๅฑ็ฒๅฐ้ๆ็ซๆ็็ธๅฑ้ฉใ้ฟๆๆฅ่งฆ้ๅฑ็ฒๅฐๅฏ่ฝๅผ่ตท้ๅฑ็ญ็ ๏ผๅปบ่ฎฎๅจ้้ฃ่ฏๅฅฝ็็ฏๅขไธญๆไฝ๏ผไฝฉๆดN95ๅฃ็ฝฉๅ้ฒๆคๆๅฅใ ๅจๅญๆถๅบไฟๆๅๅ ่ฃ ๅฎๅฅฝ๏ผ้ฟๅ ไธ้ ธ็ฑปใๆฐงๅๅๆททๆพใ่ฟ่พ่ฟ็จไธญ้้ฒ้้ฒๆฝฎ๏ผ้ถๆ่กจ้ข่ฅๅบ็ฐๆฐงๅ้่ฟ่กไธไธๆธ ๆดๅค็ๅๆนๅฏไฝฟ็จใๆฅๅบ้ถๆๅบๆ้ๅฑๅบๆๅๆถๅค็ใ
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้่ดญๆถ้ฆ่ฆๅ ณๆณจ็บฏๅบฆ(โฅ99.95%)ๅๅฏๅบฆ(โฅ98%)๏ผ่ฆๆฑไพๅบๅๆไพICPๆๅๅๆๆฅๅใๆถ็ฒๅฐบๅฏธ่ฆๆฑๅๅ๏ผๆๅฅฝ่ฝๆไพ้็ธ็ ง็ใๆฐงๅซ้ๅบ<100ppm๏ผๆฐฎๅซ้<50ppmใ ไปทๆ ผๅๅๆๆไปทๆ ผใๅฐบๅฏธ่งๆ ผๅ็บฏๅบฆ็ญ็บงๅฝฑๅๆพ่ใ2่ฑๅฏธ้ถ็บฆ2000-3000ๅ /็๏ผ8่ฑๅฏธ้ถๅฏ่พพ4000-5000ๅ /็ใๅปบ่ฎฎ้ๆฉๆๆบ ๅฐๆต่ฏๆฐๆฎ็ไพๅบๅ๏ผๅธธ่งๅ็ๆJXๆฅ็ฟใ่ดบๅฉๆฐใๆฎ่ฑๅ ๆฏ็ญใ
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